手机版 |
产品分类 |
制样/消解设备
匀胶旋涂仪
Spin Processor
CIF智能真空赶酸系统VB20AT
MAASSEN紫外消解仪
SPS-EUROPE匀胶机
CIF匀胶机
CIF透射电镜样品杆清洗机
CIF扫描电镜等离子清洗机
CIF尿碘消解仪VB80
Ossila匀胶机
清洗/消毒设备
UV Ozone Cleaner
CIF亚沸酸蒸清洗器AT系列
CIF自动酸蒸逆流清洗器AC-ETC-AT
CIF紫外臭氧清洗机UVO5
亚沸蒸馏酸纯化系统
亚沸酸蒸清洗器
CIF紫外臭氧清洗机
CIF-亚沸酸蒸清洗器
Ossila紫外臭氧清洗机
紫外臭氧清洗机
其他
CIF石墨烤胶机
CIF石墨烤胶机PH40
CIF烤胶机
Ossila浸渍提拉镀膜机
Ossila小型狭缝涂布仪
Ossila浸胶机
纳米分子微矩阵点样系统
CIF多功能消解仪DS32-260R
混合机
西班牙Filtra数字气流筛分仪
西班牙Filtra VENUS实验室V型混合仪
西班牙Filtra圆形三维振动筛
西班牙Filtra三维圆形振动筛
西班牙Filtra工业用圆形振动筛
西班牙Filtra工业用移动圆形振动筛
西班牙Filtra工业用V型混合仪
微生物检测仪器
德国Schutte厌氧罐
德国Schutte RULLA 2湿态阻菌测试仪
Schutte全自动菌落计数仪
细胞生物学仪器
德国Schutte INCUDRIVE S小型滚瓶培养箱
德国Schutte滚品细胞培养箱
纯化设备
CIF实验室废液收集系统
酸纯化器
激光粒度仪
西班牙Filtra实验室电磁三维振动筛分仪
西班牙Filtra工业离心式振动筛分仪
质谱检测分析仪
美国HST Matrix Spotter质谱成像系统
药物检测专用仪器
葡萄牙ARALAB药品稳定性和耐光性试验箱
实验室粉碎设备
西班牙Filtra实验室研磨机
植物生理生态仪器
葡萄牙ARALAB植物生长箱
比表面积测定仪
Ossila接触角测量仪
联系方式 |
产品系列
德国SPS-EUROPE匀胶机
品概述
德国SPS-EUROPE公司匀胶机具有转速稳定,启动快速,涂胶一致性和均匀性好等特点,广泛应用于半导体、化工材料、硅片、晶片、基片、导电玻璃等工艺制版表面涂覆。
工作原理
匀胶机(spin coater)的工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上,匀胶机常用于各种溶胶凝胶(Sol-Gel)实验中的薄膜制作,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。
独有特征
u 可编程全尺寸彩色触摸屏控制器,可拆卸,耐化学试剂腐蚀。速度、加速和时间可编程;无限量程序存储空间,可存储旋涂多步骤工作协议,具有协议密保功能。
u 可编程转速范围: 1rpm-12,000rpm,转速参数设置范围广,高精确性旋转速度 (± 0.1 rpm)。
u 数字电机控制,带增速数字显示信号反馈,以避免转速过量,从而提升涂膜的品质。
u 防静电PET透明衬套,杜绝工作仓室的交叉污染。
u 一体化结构设计,壳体采用α-聚丙烯(NPP-H)材质,传动系统采用工程塑料材质,寿命长耐腐蚀。
u 采用经过热处理透明玻璃盖。玻璃盖带弹簧可自动将盖子固定在理想位置,玻璃盖上带注射器固定架和氮气扩散器,注射器固定架以固定的位移距离和位置注入抗蚀剂/化学试剂,氮气扩散器在旋涂过程可注入到工作舱氮气/氩气,工作舱环境可控。
u 安全互锁装置:工作舱盖锁止,舱盖打开旋转自动停止,真空不足或没有真空旋转自动停止,过载保护。
u USB端口:可上传和下载旋涂协议和软件。
u 三个外接控制端口,可用于接入注入单元自动控制,氮气扩散器控制等。
u 产品通过CE认证。
技术参数
型号 | SPN150i | SPN200i |
控制方式 | 全彩触摸屏控制界面 | 全彩触摸屏控制界面 |
结构材质 | 聚丙烯(NPP-H)材质 | 聚丙烯(NPP-H)材质 |
旋转速度 | 1-12000rpm ±1rpm steps | 1-12000rpm ±1rpm steps |
旋转精度 | ±0.1rpm | ±0.1rpm |
旋转方向 | 顺时针,逆时针,交换摆动 | 顺时针,逆时针,交换摆动 |
加速/减速 | 1-30,000rpm/秒 (每步可选) | 1-30,000rpm/秒 (每步可选) |
旋转时间 | 0.1-99999秒/步 | 0.1-99999秒/步 |
基片范围 | 160mm 或6"直径或4"x4"方片 | 260mm 或6"直径或6"x6"方片 |
腔体直径 | 202mm | 302mm |
外接控制端口 | 3个 | 3个 |
真空开关 | 有 | 有 |
外形尺寸 | 27.5x45.0x25.0cm(WxDxH) | 380x559x307cm(WxDxH) |