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产品描述
CIF扫描电镜等离子清洗机
CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
u 双等离子清洗源
u 一机多用
u 高效低损伤
技术参数
产品型号 | CIF-SEM |
法兰接口 | KF40 |
工作气压 | 0.3-3Pa |
等离子电源 | 13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器 |
气体控制 | 标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 | 根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 | 美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr |
真空保证 | 真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 | 7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面 |
电源/功率 | 220V,50/60Hz,300W |
可选配件 | 可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min |
质量保证 | 二年质保,终身维护 |