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产品描述
Ossila匀胶机
英国Ossila公司匀胶机,操作简单,方便实用,旋涂均匀,结构小巧紧凑,为实验室提供了理想的解决方案,其采用创新设计的非真空卡盘式旋涂吸盘,无需真空泵或充氮气,就能达到很好的旋涂效果。可对大小不同规格的基材都可进行旋涂,尤其是对超薄样品,即使基片厚度0.7毫米、0.55毫米、0.2毫米或更薄时同样能达到**的旋涂效果。不会出现真空吸盘旋涂较薄的基材衬底翘曲现象,影响涂层的均匀性。广泛应用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺。
技术性能
u 可在手套箱和通风厨内使用,基座面积仅为22.5x17cm。
u 无需真空泵、充氮气,节省保养维护费用。
u 创新设计非真空卡盘式吸盘,基材只需放置在卡盘式旋涂托盘适当位置,无需抽真空,就能达到**的旋涂效果。
u 耐酸碱防腐蚀FEP覆膜操作界面,坚固的不锈钢外壳,钢化的玻璃盖和耐酸碱防腐蚀的衬垫和聚丙烯材质旋涂托盘,使得在各种苛刻条件下仍能保证仪器正常运行。
u 采用液晶显示+按键操作控制界面。智能程序化控制,10个用户自定义协议,每个协议下可设置10个程序,每个程序*多50个步骤。
u 内置水平校准装置,大限度的保证旋涂均匀,可对大小不同规格的基片进行旋涂。
u 电磁安全开关,盖子打开卡盘停止,保证运行安全。
u 转速稳定性:<2%。
u 转速:120-6000rpm。
u 定时器:1-1000秒。
u 电源:DC24V、2A, 使用100-240V 50/60Hz电源适配器。
u 尺寸:220x170x132mm。
左:普通旋涂机上有真空密封环形印迹 右:Ossila非真空式旋涂效果